中央大学・東京電機大学・日本大学・明治大学
4私大共同「研究開発交流会」

微小パーツをつくるための複合材料シート

氏名(所属) 内木場 文男(日本大学 理工学部 精密機械工学科 助教授)
専門分野 マイクロファブリケーション,機能性材料,粉末冶金,セラミックス,MEMS
展示テーマ 微小パーツをつくるための複合材料シート
研究段階 やや基礎段階
分野 情報通信/ナノテクノロジー・材料/製造技術
キーワード グリーンシート,フォトリソグラフィー,マイクロファブリケーション,微粉末,粉末冶金,感光性樹脂,セラミックス
研究の概要   金属微粉末,セラミック微粉末を有機樹脂とともに複合化し,薄層シート化する。この薄層シートは柔軟であり,様々な微細加工を加えることが可能。微細加工にフォトプロセスを加えることによって微細パターンの作成も可能になる。微細加工を施したものをそのまま用いたり,あるいは,粉末冶金法に基づく焼結を行って,強固なパーツを得ることもできる。シートの厚みは 20 μm 〜 100 μm であり、これらを単独で使用しても、積層一体化することもできる。
URL http://www.eme.cst.nihon-u.ac.jp/~uchikoba
特許
(出願中含む)
出願中
大学の窓口 日本大学産学連携知財センター
共同研究のパートナーへの要望・条件等
技術分野 電気・電子/情報工学/応用理学/機械
得意分野 ナノテクノロジー
その他 共同研究契約書、個別に相談対応



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